Сергеев Алексей Георгиевич: Нанометрология
Скачать книгу (размер 2 115 Kb , формат fb2, страниц 416) Аннотация: Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX-XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям — поверке и калибровке. Материал по…